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- 연속 기계가공 기반 반도체소자용 나노패턴 양산 기술의 창의적 우수성 인정 받아

서울과학기술대학교(총장 이동훈, 이하 서울과기대) 기계·자동차공학과 자동차공학프로그램 OKNano 연구실(지도교수 옥종걸) 학부과정 최현식 외 7명(연규범, 이나영, 채형석, 박종갑, 장인호, 전현수, 이원석)이 지난 9월 대한기계학회에서 주최한 「제4회 KSME-SEMES 오픈이노베이션 챌린지」 ‘젊은공학자 그룹부문’에서 ‘반도체소자용 슬랜티드 및 가변주기 나노패턴 구조 제작을 위한 연속 기계가공 기반 양산형 고속 나노패터닝 공정 기술’이란 주제로 은상을 수상하였다. 시상식은 11월 14일 대한기계학회 추계학술대회에서 거행되었다.

대한기계학회(이하 기계학회)는 기계산업 발전을 위하여 학계와 산업계의 협력 강화를 위한 다양한 사업을 진행하고 있으며, SEMES는 지난 1993년 설립되어 설립이래 최첨단의 반도체 장비 기술 설비 및 개발관련 사업을 진행하고 있다.

KSME-SEMES 오픈이노베이션 챌린지는 기계학회와 SEMES가 협력하여 올해 4회째로 진행되었으며, 미래기술사회의 혁신을 이끄는 주최자로의 역할제시 및 새로운 솔루션을 찾아갈 수 있는 기회를 제공함을 목적으로 하고 있다. 해가 거듭될수록 활성화되며 파급효과가 커지는 가운데, 본 연구그룹은 지난 3회 대회 금상 수상에 이어, 이번 4회 대회에서는 접수된 총 78편 가운데 11팀만 선정된 수상의 영예를 안았으며 (대상 1팀, 금상 2팀, 은상 2팀, 동상 6팀), 이 중 학부생들로만 구성된 팀은 본 팀 포함 2팀에 불과하다.