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제목 MSDE학과 ENTeR Lab, '제24회 한국 MEMS 학술대회' 우수논문상 수상
작성자 홍보실 조회수 5769 날짜 2022-05-31
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MSDE학과 ENTeR Lab(에너지나노공학연구실, 지도교수 안지환)의 김근회 석사과정 학생이 ()마이크로시스템학회 주관으로 지난 4월 6~8일 양일 간 개최된 '제24회 한국 MEMS 학술대회'에서 발표한 논문이 학술대회 우수 논문상 수상작으로 선정되었다.

 

 

 

2022년 제 24회 한국 MEMS 학회는 550여 명이 넘는 인원이 참가한 가운데 성황리에 개최되었다. 250 여 편의 연구 발표가 제출되었고, 그 중에서 ENTeR Lab 연구실이 제출한 「Improved Device Reliability using Plasma Dicing before Grinding Process for Ultra-thin Quarter-annulus Ring Si Photodetector」 논문을 포함한 2편이 우수논문상 24편에 포함되었다.

 

이번 연구는 나노종합기술원의 SBID 사업 과제 지원을 받아 수행되었으며, ENTeR Lab 김근회 석사과정 및 나노종합기술원 박종철 박사 연구팀의 공동 연구를 통해 수행 및 작성되었다. ()마이크로시스템학회에서는 1999년부터 한국 MEMS (KMEMS) 학회를 주관하고 있으며, 해당 학회는 국내 MEMS 관련 분야의 여러 전문가들이 한 자리에 모이는 국내 MEMS 분야 최대 규모의 학술대회이다.

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