서울과학기술대학교 바로가기

신소재공학과 박막소자연구실(지도교수: 한정환 교수) 소속 연구원인 안지상(신소재공학과 일반대학원 석사과정), 이재현(신소재공학과 학사과정)과 나노전자소자연구실(지도교수: 최병준 교수) 소속 연구원인 박주환(신소재공학과 학사과정)이 지난 6월 30일~7월 2일 평창 알펜시아리조트에서 개최되었던 한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2021)에서 반도체 재료•공정 부문 poster session(안지상)은 최우수 발표상, 학부생경진대회 부문(박주환)은 우수 발표상을 수상하였다.

 

1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 지난 2015년부터 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공해왔다.

▲(왼쪽부터)안지상, 이재현

석사과정 안지상은 “Atomic Layer Deposited Molybdenum Carbide Thin Films Using F-free Precursor and H₂ and Its Cu Diffusion Barrier Application”의 연구에서 ALD로 성장시킨 molybdenum carbide 박막 증착 공정 확보 및 박막의 전기적 특성 향상을 보고하였으며, Copper diffusion barrier 적용 평가를 통하여 차세대 배선 소재의 확산방지막 적용 가능성을 제시하였다.

▲박주환

학부과정 박주환은 “Realization of Diffusive Memristor Adopting Li Active Metal into HfO₂ by Co-Sputtering Process”를 주제로 하여 Li과 HfO₂ 물질을 co-sputtering을 통해 Li:HfO₂의 diffusive memristor 제작을 진행하였으며, DC, AC 측정으로 volatile한 특성을 확인하였다. 또한, parasitic parameter에 대해 modeling을 진행하였다.