서울과학기술대학교 바로가기

신소재공학과 나노전자소자연구실(지도교수: 최병준 교수) 소속 연구원인 은수민(신소재공학과 일반대학원 석사과정) 학생이 지난 1월 24~26일 경주 화백컨벤션센터에서 개최되었던 제31회 한국반도체학술대회(KCS 2024)에서 Thin Film Process Technology 분과 현장우수포스터상을 수상하였다.

한국반도체학술대회는 1994년부터 시작되어 반도체 최신 연구 결과 및 동향과 기술의 성장 방향성을 공유하는 국내 최대 규모의 반도체학술행사이다. 금년도 한국반도체학술대회에서는 1,172 편의 논문이 발표되었다.

석사과정 은수민은 “Influence of TiO2 Thin Film Grown by Atomic La yer Deposition on N-Type Bi2Te3Se0.3 Thermoelectric Powders”의 연구에서 ALD로 성장시킨 TiO2 박막의 도입으로 인한 phonon scattering, energy filtering 등의 계면 효과를 통해 향상된 BT 소재의 열전성능을 보고하였으며, 이를 활용하여 향후 interface engineering을 통한 높은 열전성능지수(zT)의 구현으로 에너지 하베스팅 기술로의 적용 가능성을 제시하였다.