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제목 신소재공학과 박막소자연구실, 2020 한국전기전자재료학회 추계학술대회에서 우수논문상 수상
작성자 홍보실 조회수 1155 날짜 2020-11-10
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신소재공학과 박막소자연구실(지도교수 : 한정환 교수)의 고은총, 강완구(신소재공학과 일반대학원 석사과정)과 안지상(신소재공학과 학사과정)이 지난 11월 5-6일 경주 The-K 호텔에서 개최되었던 한국전기전자재료학회 추계학술대회(KIEEME 2020)에서 반도체 재료•공정 부문 poster session(고은총, 강완구)과 학부생경진대회 부문(안지상) 각각 우수 논문상을 수상하였다.

 

1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 지난 2015년부터 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공해왔다.

 

 

 

 

석사과정 고은총, 강완구는 “SrRuO3 버퍼 전극을 이용한 페로브스카이트 BaTiO3 박막의 유전특성 향상”의 연구에서 고온 결정화에 취약한BaTiO3 박막의 저온 결정화 공정 개발을 통해 우수한 유전 특성을 가지는 BaTiO3 유전막을 확보하였고, 이후의 다양한 페로브스카이트 소재 기반 고용량 커패시터 특성 개선 기술의 적용 가능성을 제시하였다.

 

 

 

 

 

▲고은총(좌), 강완구(우)

 

 

학사과정 안지상은 “차세대 반도체 배선 공정을 위한 Cu 대체용 Molybdenum 금속박막의 원자층박막공정 및 소재 특성 연구”의 주제로 ALD로 성장시킨 Mo 금속 박막 공정을 제조 공정 연구 및 전기적 특성 향상을 통하여 차세대 배선소재 적용 가능성을 확인했다.

 

 

 

▲안지상

 

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